建设项目的背景
某大半导体技术制造制造加工客户主处在长三角经济区型东南部,具体制造制造晶圆和集成ic。在制造制造流程中,晶圆切工和磨光时间段产生了大量碾磨液废水治理工艺,平均直接的消费量上涨约50吨。仍然废水治理工艺中包含高氧浓度悬屏物、合金材料铁离子及充分增添剂,直接的直接的排放量会对条件形成嚴重感染,客户主急缺基础建设专业的治理油烟净化器。
废污水组分及来原
磨细液焦化废水通常来原于晶圆生产加工中的生物设备磨光(CMP)工步,通常影响物涵盖:
悬停科粒物
:二硫化硅、硫化铝等机磨粒子,比表面积在0.1-1μm,溶液浓度万代高达2000mg/L。
金属制阳离子
:铜、铁、锌等,出自于cnc精密机械加工垫偏磨及晶圆表面能金屬层,铜亚铁离子溶度约50mg/L。
有机会插入剂
:包涵单单从表面特异性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
耐酸酸碱度类物质
:pH值起伏大,经常在2-11之間。
加工处理加工制作工艺 过程
争对废水清理特质,利用“预清理+生化学+纵深清理”组合成工序:
调整池
:匀衡水污染需水量,更改碱酸调低pH至中性化。
混泥土沉淀物
:污泥脱水PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),除掉透明桌面物和溶液,沉降后SS除掉率>90%。
催化反应硫化
:分为Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)可降解有机化学放入剂,COD删去率达60%。
菌物治理
:MBR膜生物工程不良反应釜进三步溶解已满有机化学物,COD减少为100mg/L左右。
化合物传递
:用聚酯树脂过滤铜铁离子,出水出水铜占比<0.5mg/L。
砂滤+活性氧炭过虑
:保障满水后清亮,起到《污水处理站綜合进行排放标淮》(GB8978-1996)两级标淮。
后面视觉效果
系统软件运作安稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。
回收率达40%,剩的不合格尾气产生标准,年提高废水处理方法尾气产生标准1.5万吨。
处置直接费用约15元/吨,远降到这个行业均衡。