半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
项目流程经验
该单位坐落深圳省成都市,主要的专业对口一个半导体器件集成电路芯片的二极管封装公测,日进行释放废用水量约200吨。因此产生进程中安全使用许多普通机械制剂,废液含量非常复杂,含高渗透压铜、镍等天价属或是环氧漆树脂材料、光刻胶等有机肥料破坏物。单位原先的处理服务设施尚未需求一览表进行释放条件,现需发展改建。
电镀废水含量及來源
镀膜生活污水
:原因于基带芯片引脚化学镍工艺流程,包含有铜、镍、锡等天价属阳离子,pH值波动性大。
无机废水处理
:大部分出自二极管封装胶凝固、光刻加工过程,所含环氧防锈漆硅胶粘合剂、异丙醇、二甲苯等充分萃取剂。
腐蚀性废液
:带来于晶圆家电清洗和蚀刻工艺,具有氢佛酸、硝酸钠、氢腐蚀钠等。
治理 工艺具体步骤具体步骤
预外理步骤
碱酸采和
:可以通过投加药剂控制系统转换pH至6-9,尽量不要事件操作仪器氧化。
混凝土沉定
:添加PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),洗去透明桌面物和方面天价属。
层面解决关键期
高档阳极氧化
:分为Fenton化学试剂(H₂O₂+Fe²⁺)细化难吸附有机化学物,COD清掉率达70%之内。
膜筛选
:反渗透设备性和装置(UF)+反渗透设备性和(RO)搭档的工艺,进1步挪用巨资属和溶化性可挥发物。
深度的解决过程
化合物交流
:专门对於对於铜、镍亚铁离子,有效确保满水后高价属分子量不低于0.5mg/L。
特异性炭吸附性
:有所作为终究服务,取除留下进样器充分物。
决定性结果
经治疗后,水流水的质量高达《电子厂工业园水被污染的物进行水质标准规范》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,中水回用率升高至60%,每季度不仅节约用热水生产成本约80万块人民币。