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半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例

项目流程经验 该单位坐落深圳省成都市,主要的专业对口一个半导体器件集成电路芯片的二极管封装公测,日进行释放废用水量约200吨。因此产生进程中安全使用许多普通机械制剂,废液含量非常复杂,含高渗透压铜、镍等天价属或是环氧漆树脂材料、光刻胶等有机肥料破坏物。单位原先的处理服务设施尚未需求一览表进行释放条件,现需发展改建。 电镀废水含量及來源 镀膜生活污水 :原因于基带芯片引脚化学镍工艺流程,包含有铜、镍、锡等天价属阳离子,pH值波动性大。 无机废水处理 :大部分出自二极管封装胶凝固、光刻加工过程,所含环氧防锈漆硅胶粘合剂、异丙醇、二甲苯等充分萃取剂。 腐蚀性废液 :带来于晶圆家电清洗和蚀刻工艺,具有氢佛酸、硝酸钠、氢腐蚀钠等。 治理 工艺具体步骤具体步骤 预外理步骤 碱酸采和 :可以通过投加药剂控制系统转换pH至6-9,尽量不要事件操作仪器氧化。 混凝土沉定 :添加PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),洗去透明桌面物和方面天价属。 层面解决关键期 高档阳极氧化 :分为Fenton化学试剂(H₂O₂+Fe²⁺)细化难吸附有机化学物,COD清掉率达70%之内。 膜筛选 :反渗透设备性和装置(UF)+反渗透设备性和(RO)搭档的工艺,进1步挪用巨资属和溶化性可挥发物。 深度的解决过程 化合物交流 :专门对於对於铜、镍亚铁离子,有效确保满水后高价属分子量不低于0.5mg/L。 特异性炭吸附性 :有所作为终究服务,取除留下进样器充分物。 决定性结果 经治疗后,水流水的质量高达《电子厂工业园水被污染的物进行水质标准规范》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,中水回用率升高至60%,每季度不仅节约用热水生产成本约80万块人民币。

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