半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
产品蓝本
该公司制造业企业的为亚洲世界领先的半导体操作器测封公司制造业企业的,地属珠半圆地段,具体来中高档操作器的小学划片和封装形式公测。主要是因为位置环境请求从紧,公司制造业企业的直接决定推行化工废水零排出该项目 。该项目于202五年重启,202五年6月建好投入使用,操作交易额为200吨/日,总交易约2000万余元。
生活污水基本成分及來源
这项需求划区污废水 具备有如下结构特征:
高有机废气渗透压氟化物,通常位于晶圆分割后的的洗涤工艺,氟化合物有机废气渗透压达150-200mg/L
有nm级硅粉颗粒物,粒度分布多在100-500nm中间
有机肥料工况较高,COD在500-800mg/L
所含氢化物发生器血本属如铅、镉等
电阻率高,平常在2000-3000μS/cm
进行处理工艺设备流程步骤
为实行零尾气排放标准学习目标,的工艺流程图制作侧重于要考虑到污水等级分类收购利用和影视资源收购:
废液划分类别处理系统性
:将含氟废气与另外废气错开搜集
生物发展除氟
:采取有级钙盐沉积法,紧密配合科学规范沉积池
初级空气氧化治理
:三氧催化剂的作用钝化生物降解难治理 生物碳物
膜高浓系统软件
:用于DTRO碟管式反浸入,浓缩咖啡公倍数为10倍
挥发沉淀
:MVR机械装备水蒸汽再挤压蒸馏器处理浓水
吹干软件
:将结晶体盐干热后做为行业副产的外售
处置实际效果
体统进行数据统计屏幕上显示:
氟化物去掉率>99.9%,有水出氟化合物<1mg/L
COD总清理率>98%,出水量COD<20mg/L
水信息回笼率>95%,仅诞生大量晶粒盐
每人每年可环保再生资源回收高的品质造纸废水处理水约16万吨
结晶体盐色度高达鑫霖环保级标准的,控制影视循环经济凭借
楼盘除了进行了污废水 零排出,还顺利通过物资二手回收营造了约80万多/年的格外投资回报。