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半导体生产废水处理案例|半导体生产废水处理方法

该项目背静 该半导体芯片产出制造内容地属华南区域,总投资费用不超2006亿,首要产出12厘米晶圆和好封裝护肤品。内容日排卸废排水量约5000吨,构成不同艺实业废水解决方法,解决困难程度大。内容需求实业废水解决方法解决后可达到《电子厂实业水影响物排卸原则》(GB 39731-2020)非常排卸限制值,要素回收利用率不小于60%。 废液组成成分及来源地 含氟生活污水:其主要出于晶圆蚀刻、除污制作工艺,氟化合物质量浓度独角兽高达200-500mg/L,pH值动荡大 巧妙会污水:光刻、成像、去胶等环节引起,COD密度300-800mg/L,含带异丙醇、二甲苯等巧妙会溶液 含铜污水:塑料电镀、有机化学机械厂抛光剂(CMP)制作工序出现,铜正离子浓度值50-150mg/L 酸碱性化工废水:系统难以清理、有机废气治理洗涤剂等缓解存在,pH值在2-12中下跌 磨细污水:CMP制作工艺呈现,富含纳米技术级二阳极氧化硅科粒 净化处理生产技术方法 分为"划分收集整理+分质处里+强度静化"的组合起来制作工艺: 含氟废水操作操作线 : 两极物理化学放置:先添加氯化钙改善pH至6-7,加个入PAC和PAM斜板发展池放置 灵活性防氧化铝粉吸咐:保证 氟铝离子有机废气浓度调至5mg/L下 厌氧颗粒污泥经板框压滤后委托协议职业应对 无机电镀废水治理 线 : 微电解法抛光预解决:铁碳微电解法抛光可降解大生物大分子可挥发物 UASB生物滤池症状器:HRT=24h,COD我们要除率>60% MBR膜生物工程发生反应釜:利用PVDF中空中钎维膜,通量15LMH 含铜废气操作线 : 物理沉积:污泥脱水NaOH调pH至9-10,进行Cu(OH)2沉积 阴铝离子互相互转:多级不饱和树脂互相互转保障铜阴铝离子<0.3mg/L 钛电极二手收回:部件生活污水经钛电极二手收回黑色金属铜 全方位的除理装置 : 调结池:均衡化水源水流量,设曝气池混合 混凝土乳浊液:加药符合斜板沉淀池剂快速清理氢氧化铁物质 老化离子液体硫化:光吸附难光吸附有机化学物 反融于操作系统:脱盐率>98%,产水中水回用于产出线 生活污水治疗软件系统 : 淤泥精提池:液态浓硫酸浓度从1%提拔至3% 抽滤烘干:下载PAM调理改善,泥饼含水量率<75% 超高温干化:环节飞灰干化至水分含量率30%下 最终能够视觉效果 大型项目成立加载后,信息来要求维持达到了:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜正离子<0.3mg/L、pH 6-9。造纸废水处理水水硬度达到了GB/T 19923-2005工业生产用水的标准化,造纸废水处理率65%,每月减轻剥好水的使用量约1二十万吨。工业废水造成量减轻40%,危机废料预防生产成本减轻35%。系统性自己化状态高,网上监测网信息与安全行政部门即时2.连接网络。

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