半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
项目流程图片背景
该流通业园聚众了十余家半导体设备涉及公司中小行业,规划日外理力量5000吨,需要外理出自其他公司中小行业的融合研发废水解决工艺。可能各公司中小行业研发工艺流程差异性大,研发废水解决工艺成分表繁杂变幻,外理等级较高。
废液的成分及原因
生活鑫霖环保重点具有六大类:高溶液氧化还原电位磷化合物会生活鑫霖环保(光刻胶、显影液液等)、含氟生活鑫霖环保(刻蚀程序)和酸碱性生活鑫霖环保(擦拭程序)。层次性营养成分具有异丙醇、四甲基氢硫化铵等难挥发磷化合物会物,及氟化物、挥发酚等无机物被排放物。生活鑫霖环保COD起伏较大大(500-3000mg/L),氟化物溶液氧化还原电位100-500mg/L,挥发酚50-150mg/L。
处置生产工艺环节
采取"划分类别收藏+分质工作+汇集淬硬层工作"的革新机制:
企业公司内外部区分预加工解决:含氟废水解决工艺分次整理并预加工解决
项目官网中区分气流输送控制系统
网络综合调池教育均衡发展水的质量
二级混泥土乳浊液删去浮悬物和胶体溶液
高效益生物制品反响器(HBR)正确处理无机被工业废气
臭氧的危害崔化空气氧化拆解难拆解巧妙物
反渗入机系统去脱盐操作
分光光度计线空气消毒有效确保满水后防护
特点如何设置了上线探测设计和自行投加设计,怎样水质检测变化。
既定效率
设计进行5年来,整理功能增强可信度。留水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氟化物<5mg/L,总氮<15mg/L,已超地面水Ⅳ类标准规定,区域工业废水处理于小区造林及凉水塔塔补湿,工业废水处理率已超30%。几乎每年减掉新的水利用约30万吨,为小区品牌合理利用水电费数百人十万。