该晶圆打造厂处于西北各地,注意研发8寸大半导体技术晶圆,日访问量废水处理废气排股票放量约800吨。会因为研发全过程中使用的过多盐酸进行晶圆蚀刻,造成的废水处理中氟化物浓硫酸浓度到达200-300mg/L,远超地方废气废气标准化(10mg/L下类)。
废水处理含量及原因
电镀废水重点产自以下三个关键环节:
晶圆蚀刻加工过程
:含高溶度氟化物(HF)、硝酸银及极富高价属
化学式机械制造打磨(CMP)废水处理工艺
:含微米级硅颗粒剂、有机的络合剂
专用设备擦拭污水
:含异丙醇、挥发酚等有机会物
加工处理工艺生产工艺流程生产工艺流程
选择"电化学乳浊液+混泥土乳浊液+程度脱水"三级职业资格证书办理系统软件:
四级整理
:加药系统氯化钙和氢脱色钙,转变成氟化钙沉淀物,氟化物消除率达85%
三级正确处理
:增添PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),剔除溶液态废弃物物
三类操作
:顺利通过多物质过滤水器和树脂吸附性炭树脂吸附,喷水氟化物浓硫酸浓度稳定性在8mg/L下例
关键性设配比如:pH自主调结体系、斜管积淀池、板框隔膜压滤机(污水脱水情况)。
终究结果
内容行驶一年监控数据信息体现 :
氟化物一般浓度值:7.2mg/L(降到各国规范)
COD出掉率:92%
污泥干化水分含量率:≤65%
年回收并氟化钙副企业产品约150吨,改变影视秸秆综合利用利用