项目概述
某84英寸晶圆厂刻蚀生产工序导致含氟废液(主要物质为HF、NH4F),方案进行处理产值200m³/d,让改变水中水回用率≥90%,氟化物二手回收用率>80%。
污水水质优缺点
氟化物氧浓度等度大(50-5000mg/L)
含硅颗粒肥料及金屬阳离子(Al³⁺、Cu²⁺)
化学需氧量水平高(300-800mg/L)
工艺技术步骤突出点
等级分类收集整理系统的
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高盐浓度焦化废水(>1000mg/L)用单独进来心得收集机系统
低密度废水工作进行常规检查工作线
基本工作标段
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旋流症状器短时间沉定氟化钙
多效真空泵器溶缩氟化铵悬浊液
制冷结晶体备制高纯氟化铵货品
回收利用控制系统
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超滤性装置+超滤性双膜法产水造纸废水处理
浓水适用于生活区抑尘
第三产业水平指标体系
氟化物综合管理的回收利用率82%
吨水操作成本低缩减至18.7元
年的回收利用氟化铵品牌350吨
纯净水造纸废水处理率92.3%
氟煤化工废水处里处里主要技能工作小结
物理化学沉定法
优化调整指导思想:
钙盐加药系统量需调整Ca²⁺:F⁻=1.05-1.1(摩尔比)
反應pH值精密掌握在10.5-11.5范围内
厚度加工方法
比选:
几丁质酶氧化物铝:适于于<20mg/L的厚度整理
反固化:时候低浓硫酸浓度含氟废液
电激发:正确处理高困难程度有机会氟化工废水
的资源化再生位置
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氟化钙析出要加工处世造萤石
氟化铵液体提练后中水回用于生产制造
回收利用氟物料经济能力的价值可达到3000-500零元/吨
注:现场施工中需依照水质标准形态开展小试确保最优方法技术参数,推荐为先了解分质处置与反复通过方案怎么写。