该厂为8屏幕尺寸晶圆制造线整套搭配的超去离子水系统化，定期生成含硅废水解决的工艺150吨。废水解决的工艺中虽无巨资属，但硅成分高易结渣，且功率电阻率需可达到18MΩ·cm功能造纸废水解决。原来解决的工艺没办法需求新出台的《智能企业水环境固体废弃物尾气废气规则规则》（GB39731-2020）尤为尾气废气规则卫生防护距离。 废水处理材料优点和缺点 基本污染源物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、粒状硅（孔径0.1-1μm） 特别标准要求 ：TOC<10μg/L，硼量<5μg/L 水质量形态 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅单质特性复杂的 整理工艺技术具体流程 科学创新利用"梯级膜分离出来+电去铝离子"结合方法： 微滤预加工 ：1μm瓷质膜截拦大粒状硅，通量形成80LMH 铝离子相互交换树脂胶 ：D201大孔硅胶粘合剂挑选性粘附硅酸原子核 三级RO控制系统 ：第一名段收售率60%，其二段所采用高脱硼膜器件 EDI电去铁离子 ：工作电流溶解度2A/m²，长期祛除残留阴阳离子 UV紫外线消毒杀菌 ：254nm分光光度计线分子量40mJ/cm² 枝术薄弱环节 建设专用型阻硅剂（无机胺类符合物），减慢膜污染破坏寿命3倍 EDI接口自主创新流道设计方案，硅剔除率不断提升至99.8% 线上硅分享仪（量测标准0.1-500μg/L）改变精准度管理 运转预期效果 经第三点方检验： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼份量从8μg/L降到0.3μg/L 程序出售率从原40%加强至68% 膜换个周期时间缩短至5年，年操作资金降底35%