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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某光电器件电子器件制造出厂在晶圆精加工步骤中,适用硅烷使用硅外延性种植,废气洗滌塔所产生高氨水浓度含硅化工废水治理 。化工废水治理 体现了pH振幅大(2-11)、硅含量的高的特性,傳統治理 措施易有硅垢堵死原因。 废水处理材料及原因 工业废水重点物质为: 可溶性高,溶于水的性硅酸盐 :SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢氧化的钠 :洗衣塔碱酸洗衣液农药残留 粒状硅 :纳米级级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 :原辅材料沉渣带到 治理工艺设计方案 信息化采用了"两极中合+膜滤过+蒸馏成果"新工艺: 三级与 :用CaO调控pH至4-5,生产硅酸钙析出,硅清掉率60%。 二次元采和 :加Na₂CO₃将pH发展至9,进一点积淀其他硅,串连用镁剂除砷。 反渗透装置软件 :0.02μm陶瓷图片膜吸附奈米级硅颗料,通量安全稳定在80LMH。 MVR蒸馏器 :精炼高盐生活污水,晶体出Na₂SO₄副设备,水循环率超90%。 最终能够治疗效果 总硅从1500mg/L降下来5mg/L下类 砷占比从0.8mg/L降为0.01mg/L 软件无积灰运作超2年 次年回收分类处理盐酸钠结晶体约800吨

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